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扫描探针显微镜（SPM）等超精密加工与检测仪器容易受到外界环境微小振动等干扰，致使仪器在通常条件下无法达到要求的指标。为此，结合主动隔振和被动隔振技术研究对外界微小振动扰动有效隔离方法。以本原纳米仪器有限公司制作的CSPM4000扫描探针显微镜作为实验对象进行试验，探讨利用主动隔振系统来降低超精密仪器对于外部试验环境的苛刻要求，进而改善超精密仪器的试验性能。实验结果显示隔振试验装置具有较好的隔振效果，可满足使用要求。