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本文主要介绍了三种测量薄片电阻率的方法及其测量结果的差别，并探讨了产生不同测量结果的根源。
常规四探针法和双位四探针法测量半导体薄片电阻率的比较与探讨
【摘 要】
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本文主要介绍了三种测量薄片电阻率的方法及其测量结果的差别，并探讨了产生不同测量结果的根源。
【机 构】
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中国计量科学研究院
【出 处】
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计量技术
【发表日期】
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1994年04期
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