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使用射频溅射法制作了Ｇａ２Ｏ３薄膜并对其氧敏特性和温度特性进行了测试和研究，结果表明薄膜电阻与环境气氛中的氧分压的１／４次方成比例而与温度呈指数律关系。使用单电离氧空位模型成功地解决了实验结果。
氧化镓薄膜的氧敏特性研究
【摘 要】
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使用射频溅射法制作了Ｇａ２Ｏ３薄膜并对其氧敏特性和温度特性进行了测试和研究，结果表明薄膜电阻与环境气氛中的氧分压的１／４次方成比例而与温度呈指数律关系。使用单电离氧空位模型成功地
【机 构】
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黑龙江大学信息与电子科学系,哈市环境监测中心站
【出 处】
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黑龙江大学自然科学学报
【发表日期】
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1997年3期
【基金项目】
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黑龙江省自然科学基金
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