【摘 要】
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提出了一种基于飞秒激光加工技术制作的微纳光纤高温压力传感器。用飞秒激光在光纤端面加工出法珀腔,制作出的全光纤法珀干涉型压力传感器,从室温到1100℃范围进行了压力温度
【机 构】
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北京理工大学光电学院,北京理工大学激光微纳制造研究所,北京首钢股份有限公司,
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提出了一种基于飞秒激光加工技术制作的微纳光纤高温压力传感器。用飞秒激光在光纤端面加工出法珀腔,制作出的全光纤法珀干涉型压力传感器,从室温到1100℃范围进行了压力温度试验。在不同温度下,压力传感器都有良好的线性输出特性,短时间工作温度超过1100℃,能够满足高温环境下压力测量的需求。
A micro-nano fiber high temperature pressure sensor based on femtosecond laser processing technology is proposed. The Fabry-Perot cavity is processed by the femtosecond laser on the end face of the optical fiber to produce the all-fiber Fabry-Perot interference pressure sensor, and the pressure-temperature test is carried out from room temperature to 1100 ℃. At different temperatures, the pressure sensor has a good linear output characteristics, short-term operating temperature over 1100 ℃, to meet the high temperature pressure measurement needs.
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