【摘 要】
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MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems微机电系统)是集微结构、微传感器、微执行器和微电控为一体的机电系统,是一个多学科交叉的高新技术领域。MEMS是一种全新的必须同时
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MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems微机电系统)是集微结构、微传感器、微执行器和微电控为一体的机电系统,是一个多学科交叉的高新技术领域。MEMS是一种全新的必须同时考虑多种物理场混合作用的研发领域,相对于传统的机械,它们的尺寸更小,最大的不超过一个厘米,甚至仅仅为
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