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本文介绍了一种智能化激光荧光扫描光谱仪 ,可对大尺寸光致荧光样品进行扫描分析 ,从而获得需要的整体信息。进一步以发光二极管 (L ED)外延片为例 ,介绍仪器进行外延片在线无损检测的应用。该仪器可迅速对 L ED外延片进行在线检测 ,给出相关参数。实现智能化检测
激光荧光扫描光谱仪
【摘 要】
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本文介绍了一种智能化激光荧光扫描光谱仪 ,可对大尺寸光致荧光样品进行扫描分析 ,从而获得需要的整体信息。进一步以发光二极管 (L ED)外延片为例 ,介绍仪器进行外延片在线
【机 构】
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清华大学物理系
【出 处】
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仪器仪表学报
【发表日期】
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2001年01期
【基金项目】
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国家“8 63”资助项目
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