论文部分内容阅读
针对光刻投影物镜XY补偿镜调整量程小、调整精度高的特点，设计了一种XY微位移并联调整机构。首先，分析圆弧形铰链切口厚度、切口半径和高度对柔度系数的影响，以指导铰链结构设计。接着，基于柔度矩阵法分析了机构各个支链的柔度和整体柔度。最后，计算了机构的输出耦合误差，并将柔度矩阵法得到的理论值和有限元法得到的结果对比。结果表明：机构在±50 N的驱动力范围内，可以实现运动行程±40．997μm，X向调整引入的Y向耦合误差小1％，机构完全解耦。由柔度矩阵法和有限元法得到的机构柔度分别为2．537