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钛酸锶钡(BST)薄膜因其具有高的介电调谐量,相对低的损耗tgδ 和快的开关速度,在微波移相器的应用中显示出巨大优势.介绍了改善BST薄膜的介电性能的有效方法,衬底材料的选择,以及BST薄膜铁电移相器的结构类型和研究进展.
BST薄膜铁电移相器研究进展
【摘 要】
：
钛酸锶钡(BST)薄膜因其具有高的介电调谐量,相对低的损耗tgδ 和快的开关速度,在微波移相器的应用中显示出巨大优势.介绍了改善BST薄膜的介电性能的有效方法,衬底材料的选择,
【机 构】
：
上海交通大学微纳米科学技术研究院
【出 处】
：
电子元件与材料
【发表日期】
：
2005年3期
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