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基于RC网络集成电路的多晶硅薄膜电阻工艺优化
基于RC网络集成电路的多晶硅薄膜电阻工艺优化
来源 :哈尔滨师范大学自然科学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:shizelinli
【摘 要】
:
介绍基于RC^[1]网络集成电路中的制作多晶硅电阻工艺和掺杂方法,并详细阐述了这种方法的工艺过程和控制方式。利用LPCVD方式制作多晶硅薄膜,可以得到很好的膜层均匀性和最佳的
【作 者】
:
万鹏程
刘世龙
孙芳魁
【机 构】
:
哈尔滨学院,哈尔滨工业大学
【出 处】
:
哈尔滨师范大学自然科学学报
【发表日期】
:
2008年5期
【关键词】
:
多晶硅
RC网络
掺杂工艺
薄膜电阻
Poly - silicon RC network Doping process Thin - film resis
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介绍基于RC^[1]网络集成电路中的制作多晶硅电阻工艺和掺杂方法,并详细阐述了这种方法的工艺过程和控制方式。利用LPCVD方式制作多晶硅薄膜,可以得到很好的膜层均匀性和最佳的淀积速率,再利用POCl3进行高温掺杂^[2],得到优化的电阻率,灵活改变各种参数,可使电阻的精度优于5%。
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