论文部分内容阅读
根据集束型设备群的特点，对调度问题域进行描述，并提出了带驻留约束的双臂集束型设备群调度算法．该算法利用分解方法将集柬型设备群分解为多个单集柬型设备，并在此基础上提出一种基于机械手无冲突约束的搜索调度算法，调度目标是使到达晶圆在最短基本周期内完成加工．仿真实验分析结果表明，用所提出的算法进行集束型设备群的晶圆处理是有效的．