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期刊论文
几种光产酸剂产酸效率的测定
几种光产酸剂产酸效率的测定
来源 :北京师范大学学报:自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:XUCHUNLIAN
【摘 要】
:
溴酚兰水溶液的紫外吸收会随着体系中含酸的量发生变化,在440nm吸收峰处一定浓度范围内溴酚兰水溶液的吸光度与溶液中酸浓度成正比,可由此测定酸浓度.用这种方法测定了3种不同类
【作 者】
:
褚战星
翟晓晓
王力元
李敏
【机 构】
:
北京师范大学化学学院
【出 处】
:
北京师范大学学报:自然科学版
【发表日期】
:
2007年1期
【关键词】
:
光致抗蚀剂
光产酸剂
溴酚兰
指示剂
photoresist
photoacid generator
bromophenol blue
indicator
【基金项目】
:
国家“八六三”计划资助项目(2002AA3Z1330-2)
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溴酚兰水溶液的紫外吸收会随着体系中含酸的量发生变化,在440nm吸收峰处一定浓度范围内溴酚兰水溶液的吸光度与溶液中酸浓度成正比,可由此测定酸浓度.用这种方法测定了3种不同类型的光产酸剂在聚乙二醇膜层中在低压汞灯(254nm)照射下的产酸量.其中三嗪光产酸剂的光照产酸能力最强.
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