【摘 要】
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JEM—ARM200F的电子光学系统标准配备了一体化的球差校正器，极限水平的电气和机械性能的安定性，使扫描透射图像（STEM—HAADF）分辨率达No．08nm。电子束在像差校正之后，束流密度比传
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JEM—ARM200F的电子光学系统标准配备了一体化的球差校正器，极限水平的电气和机械性能的安定性，使扫描透射图像（STEM—HAADF）分辨率达No．08nm。电子束在像差校正之后，束流密度比传统的透射电子显微镜高出一个数量级。通过收束聚焦的电子束，ARM200F能够在进行原子水平分析的同时，还能缩短检测时间和提高通量。
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