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将光纤激光表面改性技术和微细电解加工技术相结合，在不锈钢表面加工复杂微细型腔等微小零件。先利用光纤激光在304不锈钢表面制作掩模图案；再利用掩模的耐腐蚀性，在微细电解加工时实现微细型腔的定域加工。研制了光纤激光掩模微细电解的复合加工装置，以304不锈钢为试样，通过工艺对比试验，优化了系统参数。试验结果表明，使用该装置可以快速地加工典型结构的微细型腔。