【摘 要】
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用Monte Carlo方法计算了封装材料/金属化层-Si结构(Au/Au-Si、Au/Schottky-Si、Ko-var/Au-Si、Kovar/Schottky-Si、China/Au-Si、China/Schottky-Si、Au/Al-Si、Kovar/Al-Si
【机 构】
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中国工程物理研究院核物理与化学研究所,吉林大学物理学院
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用Monte Carlo方法计算了封装材料/金属化层-Si结构(Au/Au-Si、Au/Schottky-Si、Ko-var/Au-Si、Kovar/Schottky-Si、China/Au-Si、China/Schottky-Si、Au/Al-Si、Kovar/Al-Si和China/Al-Si)对不同能量X射线在Si中的剂量增强系数,并进行比较。并且得到了这九种封装结构在金属-Si界面的剂量增强系数以及引起剂量增强的X射线能量范围。
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