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【正】X射线是一种波长较短的电磁辐射,通常是指能量范围在(0.1～100)keV的光子。当用高能电子照射样品时,入射电子被样品中的电子减速,会产生宽带连续X射线谱。如果入射光束为X射线,样品中的元素内层电子受其激发,可产生特征X射线。通过分析样品中不同元素产生的荧光X射线波长(或能量)和强度,可以获得样品中的元素组成与含量信息,达到定性和定量分析的目的。