【摘 要】
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采用有限元法计算了300mm硅单晶生长过程中，热屏结构对炉体内温度分布、熔体中流场以及晶体内热应力的影响。计算所用的模型涵盖了晶体生长过程中的主要物理现象，包括结晶潜热
【机 构】
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北京有色金属研究总院,有研半导体材料股份有限公司
【基金项目】
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国家科技重大专项项目（2009ZX02011）
论文部分内容阅读
采用有限元法计算了300mm硅单晶生长过程中，热屏结构对炉体内温度分布、熔体中流场以及晶体内热应力的影响。计算所用的模型涵盖了晶体生长过程中的主要物理现象，包括结晶潜热的释放、结晶前沿的形变、熔体中热和质的传输以及氧的输运等。计算结果表明使用直壁式热屏时，晶体．熔体界面变得更加平坦同时结晶前沿处的热应力大幅度下降，减少了发生宏观位错的可能性，此外熔体中的氧含量显著降低。
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