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用近红外激光吸收光谱法定量氯化氢中微量分子的技术吴尚让增崎宏等１前言在半导体制造过程中，干蚀刻、清洗、氧化等各工序中使用氯化氢等各种高纯卤系气体。为了保证它们的纯度，需要能测量低于１０－６级杂质的分析技术。在杂质特别是水分与卤系气体共存时，会腐蚀配管...
用近红外激光吸收光谱法定量氯化氢中微量分子的技术
【摘 要】
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用近红外激光吸收光谱法定量氯化氢中微量分子的技术吴尚让增崎宏等１前言在半导体制造过程中，干蚀刻、清洗、氧化等各工序中使用氯化氢等各种高纯卤系气体。为了保证它们的纯度
【出 处】
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低温与特气
【发表日期】
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1997年01期
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