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通过优化换能器设计和采用双面光刻、超声键合和密封封装等技术，研制出中心频率f0＝4300MHz，-3dB带宽△f-3dB≥200MHz，延迟时间△t=0．358μs的声体微波延迟线。通过试验验证，该产品具有高可靠性和良好的环境适应性，取得了满意的实用效果。
高可靠性声体波微波延迟线研究
【摘 要】
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通过优化换能器设计和采用双面光刻、超声键合和密封封装等技术，研制出中心频率f0＝4300MHz，-3dB带宽△f-3dB≥200MHz，延迟时间△t=0．358μs的声体微波延迟线。通过试验验证，该产品
【机 构】
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四川压电与声光技术研究所
【出 处】
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压电与声光
【发表日期】
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2008年4期
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