一种高压SJ—nLDMOS的准饱和特性研究

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研究了高压sj—nLDMOS器件中的一种特殊的电流饱和现象一准饱和效应。利用仿真工具SILVACO,对三维nLDMOS器件进行仿真,并从准漏极电压仉’和漂移区耗尽层入手,研究了准饱和效应的物理机制。与常规双RESURF—nLDMOS器件相比,在不改变器件击穿电压的情况下,降低了器件的导通电阻,大幅度提高器件的开态准饱和电流。
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