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成功研制了GaAs基MOEMS可调谐RCE光探测器．该器件采用单悬臂梁结构，在6V的小调谐电压下，获得了31nm的连续调谐范围．在调谐过程中，峰值量子效率最大为36．9％，最小为30．8％；FWHM最大为20nm，最小为14nm．在0V偏压下器件的暗电流密度为7．46A／m^2．
单悬臂梁结构的GaAs基MOEMS可调谐RCE光探测器
【摘 要】
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成功研制了GaAs基MOEMS可调谐RCE光探测器．该器件采用单悬臂梁结构，在6V的小调谐电压下，获得了31nm的连续调谐范围．在调谐过程中，峰值量子效率最大为36．9％，最小为30．8％；FWHM最大为20nm，最
【机 构】
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北京邮电大学电信工程学院光通信中心,中国科学院半导体研究所集成光电子学联合国家重点实验室
【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
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2005年6期
【基金项目】
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国家重点基础研究发展计划资助项目(批准号:2003CB314900)~~
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