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应用金属有机溶液沉积法在p-Si（100）基片上成功地制备了抗疲劳B也Bi3.2La0.8Ti3O12铁电薄膜。应用XRD分析研究了薄膜在各种工艺条件下的形成和取向。实验结果表明在400℃预处理10min后增大700℃退火时间可以显著增大薄膜的（200）取向，与先驱体溶液的柠檬酸含量无关。高柠檬酸含量增大薄膜的厚度并有助于未预处理薄膜的c-取向。