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介绍新型自扫描光栅精密位移传感器用的ＣＧ２００型ＳＳＰＡ器件，它是一种专用固体图象传感器。文中叙述了其电路工作原理、结构特点和功能及光学增透膜的作用，给出了器件的主要性能指标。最后，简单介绍了ＣＧ２００构成的自扫描光栅传感器的示意图。实验结果令人满意。
新型精密位移传感器用的CG200型SSPA器件
【摘 要】
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介绍新型自扫描光栅精密位移传感器用的ＣＧ２００型ＳＳＰＡ器件，它是一种专用固体图象传感器。文中叙述了其电路工作原理、结构特点和功能及光学增透膜的作用，给出了器件的主要性能指标。最后，简单介绍了ＣＧ２００构成的自扫描光栅传感器的示意图。实验结果令人满意。
【机 构】
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国家教委光电技术与系统开放实验室,重庆大学
【出 处】
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光电工程
【发表日期】
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0年GDGC503.009期
【基金项目】
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国家“八·五”重点攻关项目
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