【摘 要】
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为了解决传统双框架陀螺结构,驱动和检测采用同一质量块,以及加工等所引起的误差,提出了一种三框架的硅微机械陀螺结构。此结构由三个框架组成,其中外框架为驱动框架,在x轴方
【机 构】
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中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,清华大学精密仪器与机械系
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为了解决传统双框架陀螺结构,驱动和检测采用同一质量块,以及加工等所引起的误差,提出了一种三框架的硅微机械陀螺结构。此结构由三个框架组成,其中外框架为驱动框架,在x轴方向驱动,内框架为检测框架,当在z轴方向有角速度输入时,在哥氏力的作用下,在y轴方向检测。中间框架可随外框架或内框架一起运动。这种结构保证了当受到静电力驱动时,检测框架完全静止,同时,当检测框架检测时,驱动框架完全静止,从结构本身上消除了机械耦合现象,同时兼顾了陀螺的灵敏度和带宽的要求。该陀螺结构简单,采用体硅加工工艺,可进行批量加工。文中描述
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