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期刊论文
半导体金刚石膜的磁阻效应
半导体金刚石膜的磁阻效应
来源 :微细加工技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:qq279301979
【摘 要】
:
研究了在硅上P型异质外延金刚石膜的磁阻效应。实验结果表明金刚石膜有显著的磁阻反应,并与磁阻器件的结构有关。在室温下圆盘形结构的磁阻相对变化在5T磁场下约为0.85,而长条形结构只
【作 者】
:
廖克俊
王万录
【机 构】
:
重庆大学应用物理系
【出 处】
:
微细加工技术
【发表日期】
:
2000年1期
【关键词】
:
金刚石薄膜
磁阻效应
异质外延
Diamond films
Magnetoresistive effect
CVD
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研究了在硅上P型异质外延金刚石膜的磁阻效应。实验结果表明金刚石膜有显著的磁阻反应,并与磁阻器件的结构有关。在室温下圆盘形结构的磁阻相对变化在5T磁场下约为0.85,而长条形结构只有0.40。
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