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主要研究了铅离子辐照注碳4H—SiC样品在3个不同退火温度下傅立叶变换红外光谱的变化。从红外谱的变化可以知道铅辐照注碳4H-SiC样品在一定深度内出现了非晶层，波数在960—1450cm^-1范围内出现了干涉带，干涉带强度随着退火温度的升高而变弱。1373K退火后样品的卢瑟福背散射分析结果显示，一定深度内硅原子的背散射产额明显减少。