【摘 要】
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一、前言 锗是重要的半导体材料,近年来,随着探测器技术的发展,对锗的纯度提出了愈来愈高的要求。在锗的工艺中,锗的中间产品GeCl_4的纯度在很大程度上决定了锗的质量。因此
【机 构】
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冶金部有色金属研究总院501室,冶金部有色金属研究总院501室
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一、前言 锗是重要的半导体材料,近年来,随着探测器技术的发展,对锗的纯度提出了愈来愈高的要求。在锗的工艺中,锗的中间产品GeCl_4的纯度在很大程度上决定了锗的质量。因此,工艺上迫切需要解决高纯GeCl_4纯度
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