【摘 要】
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复旦-诺发高级铜互连工艺技术研讨会举办日前,由复旦大学和美国诺发系统有限公司主办,铜互连技术研讨会在上海复旦大学复旦-诺发互连研究中心顺利举行。在这个国内首次举行的
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复旦-诺发高级铜互连工艺技术研讨会举办日前,由复旦大学和美国诺发系统有限公司主办,铜互连技术研讨会在上海复旦大学复旦-诺发互连研究中心顺利举行。在这个国内首次举行的高层次铜互连专题研讨会上,专家们就铜互连技术在先进微电子器件制造工艺中这一关键技术进行了交流与讨论。
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