【摘 要】
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分析了温度对互连线上缓冲器插入的影响，提出了考虑介质、通孔和缓冲器传热效应的互连线温度分布模型．基于此模型使用45nm互连工艺参数计算了单层和多层互连线的温度分布．结果显
【机 构】
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哈尔滨工业大学航天学院,哈尔滨工业大学威海校区
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分析了温度对互连线上缓冲器插入的影响，提出了考虑介质、通孔和缓冲器传热效应的互连线温度分布模型．基于此模型使用45nm互连工艺参数计算了单层和多层互连线的温度分布．结果显示，考虑缓冲器传热时多层互连中局部互连线温度受缓冲器影响不大，全局互连线温度受缓冲器影响显著，与介质传热模型相比温度降低超过10摄氏度．温度变化对缓冲器插入位置有显著影响，利用提出的互连线温度模型，在衬底温度梯度分布、1．5mm互连线长和单个缓冲器插入条件下，与均匀插入缓冲器相比，位置变化幅度超过10％．
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