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建立了ＨＰ５５２８Ａ双频激光干涉仪的动态误差模型，根据模型可补偿动态误差，使ＨＰ５５２８Ａ双频激光干涉仪可用于测量高速运动物体的位移。
HP5528A双频激光干涉仪动态误差补偿
【摘 要】
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建立了ＨＰ５５２８Ａ双频激光干涉仪的动态误差模型，根据模型可补偿动态误差，使ＨＰ５５２８Ａ双频激光干涉仪可用于测量高速运动物体的位移。
【机 构】
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浙江大学
【出 处】
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制造技术与机床
【发表日期】
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1998年4期
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