纳米金刚石薄膜紫外探测器研究

来源 :真空科学与技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：allviolet

【摘要】

：

利用微波等离子体化学气相沉积（MPCVD）技术,制备了高表面光洁度（其表面的高度标准偏差约为8.6nm）的纳米金刚石薄膜,在其表面上制作了共平面MSM结构的紫外探测器。电荷-深能级瞬态

【作者】

：

王兰喜陈学康王云飞郭晚土吴敢曹生珠尚凯文

【机构】

：

兰州物理研究所

【出处】

：

真空科学与技术学报

【发表日期】

：

2009年S1期

【关键词】

：

纳米金刚石薄膜紫外探测器粗糙度深能级电荷-深能级瞬态谱 Nanociystalline diamond filmUltraviolet detector

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利用微波等离子体化学气相沉积（MPCVD）技术,制备了高表面光洁度（其表面的高度标准偏差约为8.6nm）的纳米金刚石薄膜,在其表面上制作了共平面MSM结构的紫外探测器。电荷-深能级瞬态谱（Q-DLTS）测试表明,纳米金刚石薄膜的带隙中引入了一个能级,能级激活能Ea=0.134eV,俘获截面σs=2.81×10-22cm2</sup&

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