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介绍了微弧氧化法的基本原理和工艺过程；综述了微弧氧化法制备铁电薄膜的发展历程及最新研究进展；讨论了目前微弧氧化制备铁电薄膜过程中存在的主要问题；提出了合理选择溶液体系和溶液浓度，研究工艺参数对薄膜表面彤貌和铁电、介电性能的影响，提高薄膜表面质量是促进微弧氧化制备铁电薄膜技术发展的关键。
微弧氧化法及其在铁电薄膜制备中的应用
【摘 要】
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介绍了微弧氧化法的基本原理和工艺过程；综述了微弧氧化法制备铁电薄膜的发展历程及最新研究进展；讨论了目前微弧氧化制备铁电薄膜过程中存在的主要问题；提出了合理选择溶液体系
【机 构】
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华南理工大学材料科学与工程学院,广东技术师范学院机电学院
【出 处】
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材料导报
【发表日期】
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2012年1期
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