【摘 要】
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准分子激光具有波长短、能量大等特点,在集成电路光刻、材料加工、医学、科研等领域具有重要的应用。与国外先进水平相比,我国高端准分子激光技术仍存在较大差距。本文首先简要介绍了准分子激光的特点和发展历史,然后分析了国内外准分子激光技术及相关典型应用的发展现状及需求,之后提出了我国准分子激光技术发展的主要问题。最后,针对相关问题及需求,建议未来重点在基础共性技术研究（高性能高端深紫外波段元器件设计、制备与
【基金项目】
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中国工程院咨询项目“我国激光技术与应用2035发展战略研究”（2018-XZ-27）；
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准分子激光具有波长短、能量大等特点,在集成电路光刻、材料加工、医学、科研等领域具有重要的应用。与国外先进水平相比,我国高端准分子激光技术仍存在较大差距。本文首先简要介绍了准分子激光的特点和发展历史,然后分析了国内外准分子激光技术及相关典型应用的发展现状及需求,之后提出了我国准分子激光技术发展的主要问题。最后,针对相关问题及需求,建议未来重点在基础共性技术研究（高性能高端深紫外波段元器件设计、制备与性能表征研究,放电动力学等基础理论及验证研究等）、长脉冲、高重频、大能量/功率技术、新兴或潜在应用领域及衍生技术等研究方面继续加大加深研究力度,为我国准分子激光的自主可控发展奠定基础。
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＜正＞ 1 前言在离子膜生产烧碱时,螯合树脂塔在除去盐水杂质过程中,树脂逐渐达到饱和状态,交换能力下降,这时必须用高纯盐酸进行树脂的再生和反洗,以恢复螯合树脂的交换能力。在电解进行过程中,由于阴极室OH-的渗透,使之与阳极液中溶解氯发生化学反应,造成氯中含氧高,阳极效率下降。为了防
＜正＞希望家长们在陪孩子玩的过程中,既能增进和孩子的感情,又能让孩子在游戏中学到知识。作为一名幼教工作者,我听家长们说得最多的话是:"我太忙了,多亏有您陪着孩子。"每次我听到这话,都很想对家长们说:"再忙也要抽时间陪孩子,哪怕只花15分钟陪孩子玩一会儿。"很多人看到这里可能会问:"15分钟时间还是有的,可是15分钟又能玩什么呢?"其实,只要家长们肯耐心发掘就会发现,适合陪孩子玩的小游戏有很多种,下
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