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从HEBS玻璃能量作用机理和曝光量与透过率关系着手，研究利用电子束直写曝光的方法，在HEBS玻璃上制作8阶菲涅尔透镜变灰阶掩模，得到掩模最大透过率为44．8％，最小透过率为8．7％，利用该掩模制得菲涅尔透镜衍射效率高达91％，证实利用HEBS玻璃制作灰阶掩模的可行性及实用性。
HBES玻璃制作菲涅尔透镜灰度掩模的研究
【摘 要】
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从HEBS玻璃能量作用机理和曝光量与透过率关系着手，研究利用电子束直写曝光的方法，在HEBS玻璃上制作8阶菲涅尔透镜变灰阶掩模，得到掩模最大透过率为44．8％，最小透过率为8．7％，利用该掩模
【机 构】
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长春理工大学光电工程学院
【出 处】
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技术与市场
【发表日期】
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2013年12期
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