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本文对空气中应用扫描隧道显微镜进行的纳米级加工进行了研究。
利用STM进行纳米加工的研究
【摘 要】
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本文对空气中应用扫描隧道显微镜进行的纳米级加工进行了研究。
【机 构】
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天津大学精密仪器及光电子工程学院,300072
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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1997年4期
【基金项目】
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天津市21世纪－青年科学基金!941314005
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