Ba0.7Sr0.3TiO3薄膜的制备、结构及性能研究

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研究了一种以乙二醇为稳定剂的新的BST前驱液,用sol-gel法在Pt/Ti/SiO2/Si(100)基底上成功地制备出具有优良电学性能的Ba0.7Sr0.3 TiO3薄膜.乙二醇的加入有效地增加了前驱液的稳定性,并降低薄膜的结晶温度.利用XRD、DTA等技术分析了凝胶热处理过程中相变化情况及薄膜厚度与成相的关系.厚度 200nm,O2气氛中 700℃处理 15min后的 BST薄膜具有良好的介电性能,100kHz时介电常数ε>400,介电损耗 D<0.02;P—E电滞回线说明薄膜具有良好的铁电性能,剩余极化只约为1.4μC/cm2,矫顽场强 Ec约为 48kV/cm. A novel BST precursor solution with ethylene glycol as stabilizer was studied. Ba0.7Sr0.3 with excellent electrical properties was successfully prepared on Pt / Ti / SiO2 / Si (100) substrate by sol-gel method TiO3 film. The addition of ethylene glycol effectively increases the stability of the precursor solution and reduces the crystallization temperature of the film. The phase change during the heat treatment of the gel and the relationship between the film thickness and the phase formation were analyzed by XRD, DTA and other techniques. The thickness of 200nm, O2 atmosphere at 700 ℃ for 15min after treatment BST film has good dielectric properties, dielectric constant at 100kHz ε> 400, dielectric loss D <0.02; P-E hysteresis loop shows that the film has good The remanent polarization is only about 1.4μC / cm2, and the coercive field strength Ec is about 48kV / cm.
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