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成分梯度多层钛酸锶钡薄膜具有较好的综合介电性能，包括适中的介电常数、高的介电调谐率、低的介质损耗及低的介电温度系数等，日益成为微波调制器件如移相器、滤波器、谐振器等的重要候选薄膜材料，就国内外近年来取得的重要成果进行了综述，对今后成分梯度多层BST薄膜的研究前景及方向进行了展望。
梯度多层BST薄膜介电性能研究
【摘 要】
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成分梯度多层钛酸锶钡薄膜具有较好的综合介电性能，包括适中的介电常数、高的介电调谐率、低的介质损耗及低的介电温度系数等，日益成为微波调制器件如移相器、滤波器、谐振器等
【机 构】
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四川电力职业技术学校,电子科技大学电子科学技术研究院
【出 处】
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电子元件与材料
【发表日期】
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2006年10期
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