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微形高检测系统采用高精密激光传感器,运用屏蔽系统和位置补偿,使得精度提高到微米级,可将其用于超级高坝坝体形变检测。该系统不受湿度、温度、电磁场的影响,能够在恶劣的环境下实现无人自动监控,并自动进行数据处理。对精密X-Y-Z三向工作台做了重点设计,根据机电一体化原理采用了滚珠丝杠、直线导轨等精密元件。提出误差补偿的方案。该研究使测量方法的原理误差降低到微米级的水平。