热激励微梁谐振器的温度分布和谐振振幅

来源 :西安交通大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：cytunyu

【摘要】

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对热激励微梁谐振器的结构进行了合理的简化,用解析方法求出了交变热源激励的微悬臂梁和微桥谐振器的温度分布:在激励点附近,交变温度的幅度最大;远离激励点时,幅度趋于0.基

【作者】

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韩建强朱长纯刘君华张声良段捷

【机构】

：

西安交通大学电子与信息工程学院,航天科技集团第十一研究所

【出处】

：

西安交通大学学报

【发表日期】

：

2002年6期

【关键词】

：

热激励微悬臂梁微桥谐振器谐振振幅 Cantilever bridgesResonanceTemperature distributionThermal

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对热激励微梁谐振器的结构进行了合理的简化,用解析方法求出了交变热源激励的微悬臂梁和微桥谐振器的温度分布:在激励点附近,交变温度的幅度最大;远离激励点时,幅度趋于0.基于该温度分布,推导出了在'热膨胀效应'作用下微桥谐振器的谐振振幅.该计算方法利用振型函数来计算谐振时桥长度的伸长量,并考虑了内应力对振幅的影响.

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