静电驱动蝴蝶结状双端固支梁的节点分析法

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为了在节点化设计方法中对静电驱动的蝴蝶结状双端固支梁进行分析,采用伽辽金残余法建立了静电驱动梯形梁单元的节点化模型,在HSpice中构建了相应的等效电路模型.与有限元仿真结果及文献中给出的实验结果进行了比较,结果表明模型具有较高的精度,可在相关设计中作为参考. In order to analyze the electrostatic driven bow-shaped double-ended beam in the nodal design method, the node model of the electrostatically driven trapezoidal beam element is established by using the Galerkin residual method, and the corresponding equivalent circuit model is constructed in HSpice Compared with the finite element simulation results and the experimental results given in the literature, the results show that the model has high accuracy and can be used as a reference in the related design.
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