【摘 要】
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针对超精细加工的技术要求,叙述了离子加工应用技术的发展概况、各型号离子束刻蚀机的性能及使用效果,阐述了离子镀膜的基本原理与特点。这种镀膜对零、部件表面的保护及性能
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针对超精细加工的技术要求,叙述了离子加工应用技术的发展概况、各型号离子束刻蚀机的性能及使用效果,阐述了离子镀膜的基本原理与特点。这种镀膜对零、部件表面的保护及性能改善有重要作用。
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