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从目前硅电容式触觉传感阵列的研究现状出发,详细分析了各种阵列单元结构、加工工艺、读出电路的设计和性能特征等。最后探讨了今后触觉传感阵列的研究趋向和发展前景。
硅电容式触觉传感阵列及相关技术
【摘 要】
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从目前硅电容式触觉传感阵列的研究现状出发,详细分析了各种阵列单元结构、加工工艺、读出电路的设计和性能特征等。最后探讨了今后触觉传感阵列的研究趋向和发展前景。
【机 构】
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东南大学,东南大学,东南大学,东南大学
【出 处】
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传感器技术
【发表日期】
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1993年04期
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