【摘 要】
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为了能够利用ZYGO数字干涉仪检测大口径深度高次非球面,提出了一种新的波前补偿方法,即透镜补偿与计算全息相结合. 通过设计实例表明,对于相对孔径为 1: 1. 08的大口径深度高
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为了能够利用ZYGO数字干涉仪检测大口径深度高次非球面,提出了一种新的波前补偿方法,即透镜补偿与计算全息相结合. 通过设计实例表明,对于相对孔径为 1: 1. 08的大口径深度高次非球面,利用简单的 2片式透镜补偿器、并与计算全息的-1级衍射波相结合,系统的波前残余误差的均方根 (RMS)值可以控制在 0 .01λ以内. 结果表明,该检测方法具有通用性强,测量精度高等特点,较好的克服了以往各种检测方法的局限性.
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