漂浮膜型半导体真空传感器

来源 :真空 | 被引量 : 0次 | 上传用户:forestdancer
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
本文给出了用硅平面工艺和微加工工艺制造的漂浮膜真空传感器。传感器的测量上 限为10 kPa,分辨率为10mPa。传感器的特性和物理模型推出的公式很一致,误差 为2%。 In this paper, a floating membrane vacuum sensor fabricated with silicon planarization and micromachining processes is presented. The upper limit of the sensor is 10 kPa and the resolution is 10 mPa. The characteristics of the sensor and the physical model is consistent with the formula, the error is 2%.
其他文献
曾参加侵华战争的原日本兵泽昌利根据自己的日记、笔记撰写了《留给子孙们》的长篇回忆录,由鞠佟生、田酉如以《一个侵华日军的日记和回忆》为名译成中文,《山西文史资料》第119辑
英语专业对于实践应用能力的要求很高,作为第一课堂的补充和延伸,课外实践平台的构建就显示出了其优越性和必要性。本文针对英语专业研究生课外实践平台的构建和实效进行了调
爱情本是一个模糊不清、无边无际的影子,大可以美而化之;而婚姻却将这个影子定格为一个完整而清晰的现实人形,所以常常遭人诟病。因为短暂,爱情的形式可以有很多,梁祝的生死相随是,许仙蛇精的殊世之恋是,泰坦尼克号勇敢的独活是,为爱而作奸犯科的又何尝不是?而婚姻很长,长长的人生就是它的形式。懂得厚积薄发,懂得见好就收,懂得量力而行,懂得适可而止,这样,婚姻才能与人生齐寿。  婚姻是一种决定。受异性、利益吸引
Up to date,in literature,it is still debated the role of anti-tumor necrosis factors(TNF)-α treatments in hepatitis C virus(HCV) patients.TNF-α performs a lot
品质独特,所以饱受青睐。中国户外媒体在发展的快车道上已经奔驰了10余年,成为仅次子电视的第二大广告媒介。前景依然美妙,竞争却日渐白热。广告主要求更专业的服务,新技术
长江液压件厂开发的DW系列整体式多路换向阀,现已研制成功并投放市场,受到主机行业好评。该系列多路阀系移值西德力士乐系列多路阀先进技术,结构紧凑, The DW Series Integr
请下载后查看,本文暂不支持在线获取查看简介。 Please download to view, this article does not support online access to view profile.
日前,经过青海省环境地质勘查局历时两年的精心勘查,青海格尔木、德令哈山前冲洪积平原地下水勘查取得重大突破,发现并已基本查明在格尔木市、德令哈市山前冲洪积平原埋藏着
由中国地质大学(北京)于兴河教授等撰写的《地质学高等教育方法论》一书2010年2月已由高等教育出版社出版发行。全书总体分为两大部分,一是地质学类高等 The book “Methodo
林静和赵艳在这个公司算是老员工了,两人同一年进入这家公司,在这里整整工作了七年,亲眼看到公司从一个十几人的小公司发展到现在三百多人的大公司,两人心中非常自豪。  进入公司的第四年,为了做得更大更强,为了更好地抢占市场,公司同时在沈阳、上海、广州建立了分公司。当初的老员工都受到重用,几个男骨干被派往分公司做经理。林静和赵艳虽然还在公司总部工作,但是同样也得到了重用。林静被提拔为生产部的主管,赵艳被提