复合效应对掺杂氧化物透明导电薄膜的影响

来源 :光电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：xiestephen

【摘要】

：

首次引入复合效应对不同价态差的掺杂氧化物透明导电(TCO)薄膜的载流子浓度及其迁移率进行了分析。对于较高温度下制备的TCO薄膜，对载流子迁移率起主要作用的散射机制是带电离

【作者】

：

孟扬林剑刘键沈杰蒋益明杨锡良章壮健

【机构】

：

复旦大学材料科学系

【出处】

：

光电子技术

【发表日期】

：

2001年2期

【关键词】

：

透明导电薄膜掺杂氧化物复合效应 transparent conductive thin film impurity doped oxide carrie

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首次引入复合效应对不同价态差的掺杂氧化物透明导电(TCO)薄膜的载流子浓度及其迁移率进行了分析。对于较高温度下制备的TCO薄膜，对载流子迁移率起主要作用的散射机制是带电离子散射和电中性复合粒子散射。带电离子散射迁移率与带电离子的有效电荷数大致呈反比关系，在载流子浓度相同的情况下，随着复合几率增大，价态差分别为3和4的TCO薄膜中的带电离子的平均有效电荷分别趋于1和2，因此带电离子散射迁移率也随之增大，分别趋于价态差为1和2的TCO薄膜的带电离子散射迁移率。而对于价态差为3的TCO薄膜，由于电中性复合粒子数

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