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一款微波双极晶体管的设计和实现
一款微波双极晶体管的设计和实现
来源 :半导体技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:flapme
【摘 要】
:
对双极晶体管结构和关键性能参数进行了研究和设计,并进行了流片测试。介绍了器件工艺步骤及其采用的工艺结构。对器件的特征频率、Gummel曲线、发射极电子和空穴浓度、CE击穿
【作 者】
:
米保良
吴国增
【机 构】
:
聊城大学东昌学院
【出 处】
:
半导体技术
【发表日期】
:
2008年9期
【关键词】
:
双极晶体管
特征频率
双层多晶硅
增益
bipolar transistor characteristic frequency double-polysili
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对双极晶体管结构和关键性能参数进行了研究和设计,并进行了流片测试。介绍了器件工艺步骤及其采用的工艺结构。对器件的特征频率、Gummel曲线、发射极电子和空穴浓度、CE击穿特性模拟、β-Ic曲线等关键参数进行了模拟。模拟器件最高特征频率为10GHz,流片测试最高特征频率为9.5GHz。
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