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硅抛光片表面质量测试技术综述
硅抛光片表面质量测试技术综述
来源 :电子工业专用设备 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ccicc
【摘 要】
:
随着硅抛光片尺寸逐渐增大,硅抛光片表面质量测试逐步被人们所关注。表面金属离子含量以及表面颗粒度成为衡量硅抛光片表面质量的重要指标,对表面金属离子含量以及表面颗粒度
【作 者】
:
宋晶
杨洪星
张伟才
武永超
【机 构】
:
中国电子科技电集团公司第四十六研究所
【出 处】
:
电子工业专用设备
【发表日期】
:
2010年07期
【关键词】
:
硅
表面颗粒度
全反射荧光谱
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随着硅抛光片尺寸逐渐增大,硅抛光片表面质量测试逐步被人们所关注。表面金属离子含量以及表面颗粒度成为衡量硅抛光片表面质量的重要指标,对表面金属离子含量以及表面颗粒度的测试原理以及设备进展进行了介绍。
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