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Ridge Waveguide Electro-Optic Polymer Modulator with a New Kind of Corona Poled Crosslinkable Polyur
Ridge Waveguide Electro-Optic Polymer Modulator with a New Kind of Corona Poled Crosslinkable Polyur
来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:a103582412
【摘 要】
:
制备了一种全部以聚合物为波导材料的电光调制器,其中芯层为新型可交联极化聚胺脂电光功能材料.旋涂制备波导薄膜、电晕极化产生非线性、光刻和氧反应离子刻蚀完成脊波导为主要
【作 者】
:
杨晓红
杜云
殷爱民
石志文
吴荣汉
【机 构】
:
中国科学院半导体研究所 国家光电子工艺中心
【出 处】
:
半导体学报
【发表日期】
:
2004年期
【关键词】
:
调制器
聚合物
脊形波导
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制备了一种全部以聚合物为波导材料的电光调制器,其中芯层为新型可交联极化聚胺脂电光功能材料.旋涂制备波导薄膜、电晕极化产生非线性、光刻和氧反应离子刻蚀完成脊波导为主要的工艺步骤。1.3μm光源光纤耦合输入脊波导调制器,得到很好的输出端单模近场图及清晰的低频调制信号.
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