【摘 要】
：
采用 MEMS体硅工艺 ,制作了三种结构的微机械光开关 :水平驱动 2 D(二维 )光开关、垂直驱动 2 D光开关和扭摆驱动 2 D、3D(三维 )光开关 .水平驱动光开关采用单层体硅结构 ,
论文部分内容阅读
采用 MEMS体硅工艺 ,制作了三种结构的微机械光开关 :水平驱动 2 D(二维 )光开关、垂直驱动 2 D光开关和扭摆驱动 2 D、3D(三维 )光开关 .水平驱动光开关采用单层体硅结构 ,另外两种光开关都采用了硅 -玻璃的键合结构 .它们的工作原理都基于硅数字微镜技术 .这三种光开关均采用了静电力驱动 ,具有较低的驱动电压 ,其中扭摆式光开关的驱动电压小于 15 V.对于 2 D开关阵列 ,在硅基上制作了光纤自对准耦合槽 .对后两种光开关的开关特性进行了计算机模拟与分析 ,结果表明这两种光开关具有小于 1ms的开关时间
其他文献
前郭石化分公司重油催化裂化装置的蒸汽发生器管板与换热管焊接处及管桥大面积开裂，裂纹大多从管束开始沿平行或垂直于焊缝的方向向管板延伸。通过对管板开裂原因进行的多方面
贡觉仲尼作为藏族精英,十分熟悉西藏地方的社会现实,对中央的边疆政策也十分关心,在民国时期沟通汉藏关系上,作用十分重要,其作为赢得了中央政府的肯定。他不仅担任雍和宫堪
近日因各城市的保钓示威游行活动引发了一些大学生打砸抢等非理性行为，社会各界对此事的关注十分强烈，这成为高校思想政治工作者亟须处理并亟待解决的问题。本研究以大学生群体
目的探讨肺癌低剂量CT筛查人群中冠状动脉钙化检出率及相关危险因素。方法选取2013至2016年首次在我院行肺癌低剂量CT筛查的40岁以上无症状男性2722例,年龄40~81岁,其中吸烟
目的:建立同时测定3个桂花品种丹桂、金桂、银桂中7个多酚类活性成分（绿原酸、咖啡酸、毛蕊花糖苷、柚皮苷、芦丁、阿魏酸、槲皮素）的HPLC-MS/MS分析方法。方法:采用Shim-pack
在团队旅游中,游客管理常常是一个重要而烦恼的问题.该文提出了一种基于RF收发器构成的无线通信系统解决方案,解决了身份识别、自动点名、发车提醒、掉队提示与告警等游客管
我国银行业税制中间接税多、税负过重,扭曲了资金配置效率,本文认为,我国利率管制政策和高度依赖银行的社会融资结构,使银行易于转嫁税负并低成本扩张。互联网金融促进了金融
美是人类追求的永恒主题,设计美的体现正是在美的规律下寻求自身的解放,在美的规则中把自身美化。设计美学对设计活动在行为上和思想上有正确的引导,能正确的认识设计与人、
本文简要介绍微波网络分析仪的系统误差模型。详细讨论了用微波自动网络分析仪测量微波器件时测试夹具给测量结果带来的误差及其修正方法,建立测试夹具的数学模型,用计算机修
本文以沪深两市2001~2010年制造业上市公司为分析样本,在对全样本回归分析的基础上,按股权性质分类进行了更为细致的研究。结果表明:公司盈余管理幅度越大,操纵性非应税项目