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为了探索生产ITO陶瓷靶材的新工艺方法，降低生产靶材的成本，提高靶材的性能，设计了纳米ITO陶瓷粉末经爆炸压实并附加烧结的工艺路线，提出了快速烧结，快速冷却的烧结工艺，对所得样品进行密度检测。并利用SEM对样品微观组织、形貌进行了分析．研究表明：使用高爆速炸药RDX和选择高温快速烧结方案能够获得密度高达98．71％理论密度，微观组织比较良好的陶瓷块体；纳米ITO粉末经爆炸压实后能够在高温突变条件下进行烧结处理；在快速冷却过程中，没有发现宏观裂纹的产生．