化学气相沉积新方法

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英国华福生电化学中心曾对难熔金属(如钛和铬)气相沉积的一种新颖方法进行过初步研究。这种奇特的方法与气相沉积的方法不同,因为它的阴极温度可以保持在低于气相化合物分解所需的温度以下。这样,钛和铬便从TiCl_4和CrO_2Cl_2中在300 A new approach to the vapor deposition of refractory metals, such as titanium and chromium, has been conducted at the HuafuSheng Chemical Center in the United Kingdom. This peculiar method is different from the vapor deposition method in that its cathode temperature can be kept below the temperature required for decomposition of the vapor phase compound. Thus, titanium and chromium from TiCl_4 and CrO_2Cl_2 at 300
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